Tytuł artykułu

A low-cost, simple optical setup for a fast scatterometry surface roughness measurements with nanometric precision

Tytuł czasopisma

Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences

Rocznik

2020

Wolumin

68

Numer

48

Autorzy

Kucharski, D. ; Zdunek, H.

Słowa kluczowe

scatterometry ; surface texture ; optical measurement systems ; surface metrology ; surface roughness

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

485-490

Data

30.06.2020

Typ

Article

Identyfikator

DOI: 10.24425/bpasts.2020.133364 ; ISSN 2300-1917

Źródło

Bulletin of the Polish Academy of Sciences: Technical Sciences; 2020; 68; 48; 485-490