Tytuł artykułu

Sealing of silicon-glass microcavities with polymer filling

Tytuł czasopisma

Bulletin of the Polish Academy of Sciences Technical Sciences

Rocznik

2016

Wolumin

64

Numer

No 2

Autorzy

Knapkiewicz, P. ; Augustyniak, I.

Wydział PAN

Nauki Techniczne

Zakres

283-286

Data

2016

Identyfikator

DOI: 10.1515/bpasts-2016-0032 ; ISSN 2300-1917

Źródło

Bulletin of the Polish Academy of Sciences: Technical Sciences; 2016; 64; No 2; 283-286